第三百零四章 謀劃超S

　　劉焱當(dāng)初投資研發(fā)光刻機(jī)，本來就沒想過依靠它盈利，量產(chǎn)型號(hào)的光刻機(jī)，對(duì)外售價(jià)只有百萬人民幣。

　　這個(gè)價(jià)格只有國外同類產(chǎn)品的三分之一左右，可謂是物美價(jià)廉。

　　可惜這年月，內(nèi)地的晶圓工廠大多不成氣候，后續(xù)訂單就算有，也不會(huì)有太多。

　　好在維創(chuàng)電子公司自己就有晶圓工廠，且盈利豐厚，只要自產(chǎn)光刻機(jī)能完美替代進(jìn)口產(chǎn)品，且能跟隨摩爾定律不斷升級(jí)進(jìn)化，花再多的研發(fā)資金也是值得。

　　表彰大會(huì)之后，劉焱召集全體光刻機(jī)研發(fā)室實(shí)驗(yàn)室成員，召開了一個(gè)研討會(huì)，對(duì)下一步的研發(fā)計(jì)劃和研發(fā)方向進(jìn)行了部署。

　　在研討會(huì)上，劉焱代表維創(chuàng)電子公司率先發(fā)言，說道：

　　“一微米光刻機(jī)已經(jīng)研發(fā)成功，并定型量產(chǎn)，在座的諸位功不可沒。

　　但這一切都已經(jīng)是過去式，接下來，咱們要在一微米光刻機(jī)的基礎(chǔ)上，再接再厲，研發(fā)0.5微米制程的光刻機(jī)。

　　我代表維創(chuàng)電子公司表個(gè)態(tài)，不管研發(fā)過程中遭遇怎樣的困難，需要投入幾億，十幾億，甚至幾十億的研發(fā)資金，我們維創(chuàng)電子也在所不惜。

　　接下來，有請(qǐng)廉教授就下一代光刻機(jī)研發(fā)計(jì)劃，做一下總體規(guī)劃?！?p>　　廉安平教授拿出一份手寫的稿子，清了清嗓子說道：

　　“當(dāng)初劉老板提供的光刻機(jī)研發(fā)資料中，有一份0.5微米光刻機(jī)研發(fā)概要，點(diǎn)明了幾個(gè)研發(fā)要點(diǎn)，包括光源，透鏡系統(tǒng)，雙工臺(tái)，掩模臺(tái)等等。

　　其中雙工臺(tái)、掩膜臺(tái)、控制系統(tǒng)、晶圓傳輸系統(tǒng)，可以通過一微米光刻機(jī)的相關(guān)部件進(jìn)行升級(jí)改造達(dá)成，難度不是太大。

　　但為了達(dá)到0.5微米的加工精度，光源系統(tǒng)和透鏡系統(tǒng)需要重新設(shè)計(jì)，重新打造，這個(gè)難度不是一般的大。”

　　烏光輝跟著發(fā)言道：

　　“我是搞激光技術(shù)出身，在光刻機(jī)光源方面有一定研究。光刻分辨率想要達(dá)到0.5微米，光源波長需要達(dá)到365nm以下，且對(duì)光源強(qiáng)度和均勻度都有非常嚴(yán)格的要求。咱們?cè)谝晃⒚坠饪虣C(jī)上使用的高壓汞燈，理論上其極限能達(dá)0.35微米的加工精度，但需要對(duì)其結(jié)構(gòu)進(jìn)行徹底的改造，且越是接近極限，越難以達(dá)成。

　　而被業(yè)界普遍認(rèn)定是下一代光刻機(jī)光源的KrF（氟化氪）準(zhǔn)分子激光，光源波長為248nm，可以使最小工藝節(jié)點(diǎn)提升至350-180nm水平。當(dāng)今世界上，很多激光相關(guān)的研究所，都在對(duì)準(zhǔn)分子激光進(jìn)行研發(fā)，進(jìn)度參差不齊，達(dá)到實(shí)用水平的，一個(gè)都沒有。

　　我的建議是，在光刻機(jī)光源方面，兩種線路同時(shí)研發(fā)，哪個(gè)率先取得突破，下一代0.5微米光刻機(jī)上，就使用哪一種光源?！?p>　　一位光學(xué)方面的專家發(fā)言道：

　　“光源波長越短，傳播過程中越容易被透鏡吸收。下一代0.5微米光刻機(jī)，如果依舊使用高壓汞燈當(dāng)光源，使用現(xiàn)在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一些。

　　如果使用準(zhǔn)分子激光做光源，透鏡系統(tǒng)就需要推倒重做，組合里至少增加兩枚玻璃透鏡，參數(shù)也要重新設(shè)計(jì)，還有鍍膜材質(zhì)也要重新開發(fā)。

　　這方面研究需要盡快提上日程，如果開發(fā)新透鏡組合，需要的計(jì)算量非常的大，使用普通計(jì)算機(jī)計(jì)算，需要的時(shí)間會(huì)非常長，我建議咱們使用ARM1芯片，組裝一臺(tái)超級(jí)計(jì)算機(jī)出來?！?p>　　一位深鎮(zhèn)大學(xué)教計(jì)算機(jī)的教授，推了推眼鏡出聲道：

　　“超級(jí)計(jì)算機(jī)確實(shí)是個(gè)好東西，咱們很多研發(fā)中的項(xiàng)目涉及到大量數(shù)據(jù)計(jì)算和模擬測(cè)試，如果咱們實(shí)驗(yàn)室有一臺(tái)超級(jí)計(jì)算機(jī)，可以把研發(fā)速度提高很多。

　　維創(chuàng)電子公司晶圓工廠出產(chǎn)的ARM1芯片，是世界上第一款精簡(jiǎn)指令集芯片，以10萬晶體管數(shù)量，提供了遠(yuǎn)超80286芯片的性能，在功耗上，也只有后者的三分之一左右，是制作超級(jí)計(jì)算機(jī)的最優(yōu)芯片。

　　只是超算并不是單純的堆疊芯片，還涉及到并行計(jì)算、指令分發(fā)、數(shù)據(jù)交互、大量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、高效率散熱等等技術(shù)，咱們這邊根本沒有相關(guān)人才，想要自己研發(fā)超級(jí)計(jì)算機(jī)難上加難?！?p>　　接下來，光刻機(jī)研發(fā)小組的成員，各抒己見，給下一代0.5微米光刻機(jī)的研發(fā)，提供了很多的好思路。

　　最后，劉焱做了總結(jié)發(fā)言，說道：

　　“大家說的很好，0.5微米光刻機(jī)的研發(fā)工作就拜托大家了。我們維創(chuàng)電子公司會(huì)先期投資10億，作為研發(fā)資金，如果需要某些先進(jìn)設(shè)備，或稀有原材料，打報(bào)告上來，我會(huì)想辦法，從國外采購。

　　超級(jí)計(jì)算機(jī)的事情先不要著急，據(jù)我所知，GFKJ大學(xué)計(jì)算機(jī)研究所目前正在進(jìn)行國內(nèi)第一臺(tái)巨型機(jī)的研發(fā)，咱們可以跟那邊聯(lián)系一下，將咱們的ARM1芯片提供過去，看看雙方能不能達(dá)成合作。

　　另外芯片生產(chǎn)線上除了已經(jīng)被咱們攻克的光刻機(jī)，還有刻蝕機(jī)，清洗機(jī)，離子注入機(jī)，單晶爐，晶圓劃片機(jī)等等設(shè)備，這些都需要咱們?nèi)ス猱a(chǎn)化。

　　這些設(shè)備只靠維創(chuàng)電子公司、深鎮(zhèn)大學(xué)、和Z科院，三家的科研力量進(jìn)行研發(fā)，還是力有未逮。咱們還需要聯(lián)系一些國內(nèi)相關(guān)的科研院所和工廠，進(jìn)行合作研發(fā)。”

　　會(huì)議過后，劉焱通過中科院的關(guān)系，聯(lián)系上了GFKJ大學(xué)計(jì)算機(jī)研究所，了解了一下即將研發(fā)完成的“YH1號(hào)”巨型計(jì)算機(jī)。

　　這才知道八十年代的超算和后世的超算，完全不是一種東西。

　　就拿“YH1號(hào)”來說，它仿制于米國的cray-1巨型計(jì)算機(jī)，使用的計(jì)算芯片并不是80286、ARM1這類大規(guī)模集成電路芯片，而是數(shù)十萬顆普通集成電路芯片。具體構(gòu)造也不是后世的大規(guī)模并行處理結(jié)構(gòu)，而是老舊的向量機(jī)。

　　而且YH1號(hào)的計(jì)算能力只有每秒1億次多一點(diǎn)，還不如后世的一枚普通手機(jī)芯片，性能著實(shí)有限。即使如此，劉焱還是花上千萬港幣，訂購了一臺(tái)YH1號(hào)巨型機(jī)，用于輔助光刻機(jī)研發(fā)。