第三百零三章 表彰重獎

　　陽威力通過對講機溝通，讓一位名為柏巧玲的女工，送來了幾十片已經(jīng)涂好光刻膠的硅晶圓，廉安平教授親自動手，將硅晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上，然后按下操作面板上的啟動按鈕。光刻機內(nèi)部傳出細(xì)微的機械轉(zhuǎn)動聲音，一張硅晶圓被機械臂送進光刻機內(nèi)部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開始對硅晶圓進行加工。

　　見狀，劉焱出聲詢問道：

　　“這臺光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產(chǎn)生的436nmg-line和365nmi-line，還是248nm的KrF（氟化氪）準(zhǔn)分子激光作為光源？”

　　烏光輝回答道：

　　“現(xiàn)在使用的是高壓汞燈產(chǎn)生的365nmi-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。準(zhǔn)分子激光光源，是下一代光刻機光源技術(shù)，咱們研發(fā)部已經(jīng)立項開始研發(fā)，但這種技術(shù)在世界范圍內(nèi)，也是最前沿研發(fā)項目，開發(fā)難度非常高，不是短期內(nèi)能攻克的?！?p>　　這臺光刻機的加工速度還是很快的，即使是初次測試，柏巧玲拿來的幾十片硅晶圓也在二分鐘內(nèi)，全部完成了光刻加工。這些光滑如鏡的硅晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產(chǎn)的ARM1芯片掩膜版，其復(fù)雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產(chǎn)的所有芯片之最。

　　按照原本的計劃，第一次光刻測試，應(yīng)該選用最為簡單的單片機芯片作為加工目標(biāo)，這樣一來，就可以從易到難，逐步查漏補缺，將光刻機修改完善。但廉安平教授和幾個主要研發(fā)人員，對光刻機測試樣機非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的ARM1芯片。

　　維創(chuàng)電子公司推出的第二代游戲掌機上市之后，立刻受到電玩愛好者的熱捧，僅僅上市半個多月，就售出了300萬臺。

　　隨機配送的《C級瑪麗》和《G夫小子》兩款游戲，在畫面、音效、游戲可玩性上，碾壓市面上的所有游戲。

　　游戲掌機熱銷，作為主控芯片的ARM1需求量大增，可是產(chǎn)品合格率始終徘徊在60%~70%之間，提升速度非常緩慢。

　　經(jīng)過蒙小剛、廉安平教授以及幾個相關(guān)領(lǐng)域的專家研究分析，認(rèn)為ARM1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準(zhǔn)度不達(dá)標(biāo)造成的。

　　晶圓工廠內(nèi)的這幾條芯片生產(chǎn)線畢竟是使用了一二十年的設(shè)備，能正常生產(chǎn)芯片就不錯了，想要苛求加工參數(shù)完全達(dá)標(biāo)，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設(shè)備的光刻機。

　　廉安平教授親自動手，使用專用夾具，將光刻完的幾十片硅晶圓裝進專用容器，拿去芯片生產(chǎn)線那邊，去進行后續(xù)的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學(xué)機械研磨等步驟。

　　兩個多小時之后，所有工序走完，幾十片硅晶圓，變成了一千多枚封裝完成的ARM1芯片。

　　劉焱、烏光輝、廉安平教授等高管和研發(fā)人員，開始動手對這批芯片進行全面測試。

　　半小時后，所有芯片測試完成，廉安平教授對測試結(jié)果進行了匯總，最后宣布道：

　　“此次一微米光刻機測試，共選用了35片硅晶圓，加工過后，切割封裝成1750枚芯片。

　　經(jīng)全面測試，合格產(chǎn)品共1203枚，合格率為68.7%。也就是說，咱們光刻機研發(fā)實驗室生產(chǎn)的第一臺一微米光刻機，第一次開機測試生產(chǎn)，就成功了，且合格率已經(jīng)達(dá)到了晶圓工廠內(nèi)現(xiàn)有幾臺佳能和尼康光刻機的加工水平?！?p>　　聽完廉安平教授的發(fā)言，劉焱帶頭鼓掌，其他維創(chuàng)電子公司高管和研發(fā)人員，以及其他負(fù)責(zé)封裝測試的員工也很快跟上，現(xiàn)場爆發(fā)出一陣熱烈的掌聲。

　　“沒想到，新設(shè)備第一次光刻測試就成功了，廉教授他們這些人真是牛?！?p>　　“那是當(dāng)然，光刻機研發(fā)實驗室是咱們維創(chuàng)電子公司和Z科院半導(dǎo)體研究所、深鎮(zhèn)大學(xué)，共同合作建立的，里面工作的研究員，學(xué)歷最低的也是碩士研究生，能不厲害嗎?！?p>　　“芯片生產(chǎn)線最核心的設(shè)備光刻機研發(fā)成功了，其他相關(guān)設(shè)備的研發(fā)難度就低多了，也許咱們維創(chuàng)電子公司有一天，可以生產(chǎn)整條芯片生產(chǎn)線上的所有設(shè)備?！?p>　　“沒那么容易，整條芯片生產(chǎn)線上的設(shè)備太多了，咱們維創(chuàng)電子不可能分心生產(chǎn)這么多的東西?！?p>　　“第一次光刻測試，產(chǎn)品合格率就達(dá)到了68.7%，再做一些參數(shù)優(yōu)化，將合格率提升到70%、80%，也不是不可能?！?p>　　接下來，劉焱和廉安平教授等人去食堂吃了一餐遲來的午飯，然后返回?zé)o塵車間，對光刻機進行進一步的測試，包括極限加工精度測試，最高光刻速度測試，長時間壓力測試等等。

　　此后半個月，又有兩臺維創(chuàng)電子公司自產(chǎn)的一微米光刻機加入測試，隨著設(shè)備參數(shù)的不斷修改優(yōu)化，一些零配件的小修小改，生產(chǎn)的芯片合格率已經(jīng)提升到了81%。作為一家剛剛成立不到半年的晶圓工廠，這個合格率已經(jīng)相當(dāng)高了。

　　11月中旬，維創(chuàng)電子公司和Z科院、深鎮(zhèn)大學(xué)，合作研發(fā)的一微米光刻機正式定型量產(chǎn)。

　　為此，三家單位特意舉行了一個表彰大會，還叫來了幾名報刊雜志和電視臺的記者，對此進行報道。

　　在這次的表彰大會上，對光刻機研發(fā)小組全體成員進行了通報嘉獎，所有人都獲得了維創(chuàng)電子公司提供的一萬到十萬不等的獎金。

　　在GGKF之初的八零年，RMB可是非常的堅挺，萬元戶即使在特區(qū)深鎮(zhèn)也是鳳毛麟角的存在。

　　如今一大批搞光刻機研發(fā)的技術(shù)人員，輕輕松松成為萬元戶，甚至十萬元戶，造成的轟動效果可想而知。

　　消息見報不到一周，維創(chuàng)電子公司就接到了五臺一微米光刻機訂單，都是內(nèi)地的幾大電子研究所訂購的，用于國產(chǎn)芯片的研發(fā)制造。