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我是大科學(xué)家

第七十四章 蝕刻機(jī)研制

我是大科學(xué)家 蜜汁扣肉 2039 2017-05-30 20:04:09

    光刻機(jī)又名:掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),常用的光刻機(jī)是掩膜對準(zhǔn)光刻,是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備,每顆芯片誕生之初,都要經(jīng)過光刻技術(shù)鍛造,簡單地說,光刻機(jī)就是把工程師的設(shè)計‘刻印’在基底材料-硅片上,在2—3平方厘米的方寸之地集成數(shù)十億晶體管。

  光刻機(jī)‘刻印’處理過的硅片再經(jīng)過蝕刻機(jī)加工,通過化學(xué)反應(yīng),物理撞擊作用移除廢棄‘硅片’上的廢棄部分,再經(jīng)歷某些封裝工藝,神奇硅片材料變廢為寶,變成價值高昂的-電子芯片。

  因?yàn)橹芘d的關(guān)系5納米級蝕刻極量產(chǎn)可期,光刻機(jī)成為眾人心中的重中之重,如果光刻機(jī)再有所突破,那么芯片領(lǐng)域會和高鐵領(lǐng)域一樣,突破西方國家封堵完成彎道超車。

  “不過什么?有話快說,別賣關(guān)子。”嚴(yán)教授瞪著周興,催促地問:

  “光刻機(jī)我是有研究過,不過,暫時沒別的想法?!敝芘d看了嚴(yán)教授一眼,淡淡地說:

  聞言,在場眾人面色一松,露出意料之中的神色,臉上又帶了一絲遺憾,神色復(fù)雜。

   5納米級蝕刻機(jī)的量產(chǎn)工藝被周興攻克,如果連光刻機(jī)也被周興突破了,那他的研發(fā)能力未免也太嚇人了。

  光刻機(jī)可比蝕刻機(jī)復(fù)雜多了,芯片的核心是光刻機(jī),光刻機(jī)的核心是鏡頭,目前世界主流的光刻機(jī)還是深紫外侵入式光刻機(jī),這個技術(shù)的極限是14納米級以上,10納米以下的光刻機(jī)則要用到極紫外光刻(EUV)技術(shù),這項技術(shù)即使國外巨頭都尚處于實(shí)驗(yàn)室向商業(yè)化發(fā)展的階段,鴻溝般的巨大差距不是輕易就能跨越的。

  眾人失望之余,又覺得理所當(dāng)然。

  “暫時沒別的想法?你的意思是你還是有想法的咯?”與其他人不一樣,嚴(yán)教授格外留意周興的回答,步步緊逼地問:

  “嚴(yán)老,我們還是先把蝕刻機(jī)量產(chǎn)工藝拿下再說吧!研發(fā)嘛,總要一步一步來,不要好高騖遠(yuǎn)嘛!”迎著嚴(yán)教授探究的目光,周興神秘地笑了笑,避重就輕地說:

  有周小智這個研發(fā)輔助利器,又有虛擬實(shí)驗(yàn)這個優(yōu)質(zhì)的研究環(huán)境,系統(tǒng)任務(wù)還尚未結(jié)算,如果有需要,研發(fā)極限納米級的光刻機(jī)難度也算大,不過,還是得控制一下節(jié)奏,不然被‘相關(guān)機(jī)構(gòu)’抓去切片研究就得不償失了。

  “你小子奸猾似鬼,心里現(xiàn)在肯定在想別的鬼主意!”嚴(yán)教授瞪著周興不相信地說:

  “好啦!老嚴(yán)別再為難小興了,時機(jī)到了該發(fā)生的事情自然而然就會發(fā)生?!狈浇淌诳扌Σ坏玫乜粗鴩?yán)教授,插話道:

  “是啊,現(xiàn)在手頭上的事情比較重要,我們趕緊把這臺新式蝕刻機(jī)試造出來。”徐教授精神振奮地說:

  “對了,老嚴(yán),這件事還沒跟鄭主任匯報吧?你趕緊跟溝通一下?!眲⒔淌谕蝗幌氲搅耸裁矗嵝褔?yán)教授道:

  “嗯,我馬上通知他?!眹?yán)教授愣了一下,連忙拿起手機(jī)走到一旁撥打起來:

  老頑固嚴(yán)教授被劉教授支開了,現(xiàn)場畫風(fēng)突然一變。

  “小興,系統(tǒng)撞擊模塊我剛才沒聽清楚,你再跟我講一下?!焙淌谙蛑芘d詢問道:

  “小興,控制器的芯片是要用那個型號,回頭我準(zhǔn)備一下?!眲⒔淌诳粗芘d問:

  “大志,把圖紙和繪圖工具拿過來?!狈浇淌诳聪蚬笾痉愿懒艘痪?,看著眾人道:“大家辛苦一下,今晚務(wù)必把總程的圖紙整出來?!?p>  郭大志點(diǎn)了下頭,轉(zhuǎn)身拿繪圖工具去了,眾人紛紛跟著忙活起來,整理資料的,找周興核實(shí)數(shù)據(jù)的,梳理工藝流程的,……。

  轉(zhuǎn)眼之間,實(shí)驗(yàn)室內(nèi)眾人分散開來,進(jìn)入試制蝕刻機(jī)的研造階段。

  跟鄭主任結(jié)束通話之后,嚴(yán)教授看著眾人熱火朝天忙碌的場景,當(dāng)即把‘拷問’周興‘根底’的事忘之腦后,挽起袖子跟著一起加入研造蝕刻機(jī)的隊伍。

  忙碌的時間過得又充實(shí)又快速,轉(zhuǎn)眼一星期過去。

  自從被系統(tǒng)附身,周興的生活趨向宅男化,每天的時間不是待在實(shí)驗(yàn)室與教授們造蝕刻機(jī),就是躲在房間里蒙頭做研究,生活的主旋律只剩下學(xué)習(xí)。

  這種專心致志的狀態(tài)下,周興科研之路,越走越通暢。

  僅僅一周時間,在眾人不知不覺的情況下,周興反客為主成了整個項目組的靈魂人物,主導(dǎo)著蝕刻機(jī)的研制工程。

  第八天的下午,寬敞的電子實(shí)驗(yàn)室人員聚集。

  鄭主任與一眾系院領(lǐng)導(dǎo),專家教授落在周興身后,看著周興站在一臺裸露的電子儀器設(shè)備的液晶屏幕前,“噼里啪啦”敲打鍵盤,灌入代碼。

  一陣“滴滴…?!钡碾娮峪Q響,裸露的電子設(shè)備的通電指示燈驟然一亮。

  “小興,控制器起反應(yīng),系統(tǒng)嵌入成功,自檢通過?!惫笾揪o緊盯著液晶屏幕瀑布流般的英文代碼,興奮地向周興匯報道:

  聞言,周興臉上展露一絲微笑,所有步驟沒有出差錯,系統(tǒng)嵌入成功是必然的。

  人群一陣騷動,鄭主任急不可耐地催促,道:“小興,既然系統(tǒng)嵌入成功了,那快開始試驗(yàn)吧!”

  “嗯,郭學(xué)長你放料吧!我啟動加工程序,進(jìn)行加工試驗(yàn)?!敝芘d回頭看了鄭主任一眼,點(diǎn)了點(diǎn)頭:

  “好!郭大志點(diǎn)了點(diǎn)頭,迫不及待地將材料送進(jìn)入料口。

  材料一下子被蝕刻機(jī)入料口的傳送帶吞沒,緊接著電子設(shè)備響起一陣“滋滋滋”的運(yùn)轉(zhuǎn)聲。

  “各位請看液晶屏幕,這是三維立體圖像反饋蝕刻機(jī)加工材料的信息數(shù)據(jù)?!敝芘d轉(zhuǎn)過頭去,向眾人介紹道:

  眾人屏息而看,只見液晶屏幕顯示著一個綠色的立體圖形,左右兩側(cè)顯示著一顆硅片材料表面不停剝落材料的數(shù)據(jù)信息。

  “在過7分鐘材料就能處理完成,之后自動檢測材料加工結(jié)果,如果出現(xiàn)不合格,系統(tǒng)將進(jìn)行判斷,進(jìn)行二次加工或是銷毀處理?!敝芘d繼續(xù)向眾人介紹道:

  “成功了嗎?”鄭主任盯著液晶屏幕迫不及待地問:

  

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