光刻機(jī)的工作原理其實(shí)并不復(fù)雜，雖說在設(shè)計(jì)上跟相機(jī)差別越來越大，但原理依然相似，是通過將光罩上設(shè)計(jì)好的集成電路圖形通過光線曝光印在光感材料上，形成圖形。
細(xì)說的話，就是光束透射過畫有集成電路線路圖的掩模，由物鏡補(bǔ)償光學(xué)誤差，并將線路圖成比例縮小后映射在硅片上，然后用化學(xué)方法顯影，硅片上就刻上了電路圖。
也就是說，光刻機(jī)雖說有刻字，但基本是光學(xué)跟化學(xué)的事。
齊志講的盡...