“董事長，要是Nikon在我們之前，率先攻克157nm激光器技術(shù)，率先研發(fā)成功65nm制程工藝的光刻機(jī)，我們?nèi)绾螒?yīng)對(duì)？”
CTO湯普森知道EUV光刻機(jī)不是短時(shí)間內(nèi)能研制成功的，也主張兩條腿走路，GCA研究院如今也在研發(fā)157nm激光器，由于GCA一直以研發(fā)EUV為主，157nm激光器的技術(shù)遠(yuǎn)不如Nikon和SVG，投資10美元，要是能夠收購SVG，拿到SVG獨(dú)有的157nm激光器...