EUV LLC聯(lián)盟的研發(fā)費用出資比例中，牽頭的美國能源部出30%，Intel和GCA各出20%，Motorola、IBM、IT、ADM和HP各出4%，Micron和Cymer等其他33家科技企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)共出10%，今后享受的權(quán)利同出資比例相同。
GCA需要出資的20%中，以前的EUV研究成果折算15%。
GCA這些年為了研發(fā)EUV投資了1.5億美元，取得了不少有關(guān)EUV...
解剖老師
前兩章由于受到內(nèi)容違規(guī)被禁的影響，雖然發(fā)現(xiàn)不少錯誤，但不敢修改（會被禁），等以后再改。 感謝一直支持本書的書友！