浸液系統(tǒng)，聽起來是一個普通得再也不能普通的名詞，但在光刻系統(tǒng)里是一個新名詞。你可以認(rèn)為它很簡單，但要弄清楚這個系統(tǒng)，卻需要很長一段時間。
這個浸液系統(tǒng)不是那么好研究的，牽涉問道控制、氣泡去除、液體選擇等等一系列的問題，去離子水只是其中最簡單的一種。
等同行開始研究什么是浸液系統(tǒng)時，重世研究院新一輪研究又緊鑼密鼓地開展起來，都是針對波長50nm左右的。
這不是一個簡...
浸液系統(tǒng)，聽起來是一個普通得再也不能普通的名詞，但在光刻系統(tǒng)里是一個新名詞。你可以認(rèn)為它很簡單，但要弄清楚這個系統(tǒng)，卻需要很長一段時間。
這個浸液系統(tǒng)不是那么好研究的，牽涉問道控制、氣泡去除、液體選擇等等一系列的問題，去離子水只是其中最簡單的一種。
等同行開始研究什么是浸液系統(tǒng)時，重世研究院新一輪研究又緊鑼密鼓地開展起來，都是針對波長50nm左右的。
這不是一個簡...