“方總,方總,絕緣體上硅是在硅的絕緣襯底上再形成一層薄的單晶硅?!?p> “它相較于現(xiàn)在的導(dǎo)電型的硅襯底,是三層結(jié)構(gòu),第一層硅襯底層,可以提供機(jī)械支撐,第二層是二氧化硅層,形成一層絕緣結(jié)構(gòu),第三層是單晶硅頂層,可以進(jìn)行電路的刻蝕,形成驅(qū)動(dòng)IC的工作層。”
“方總,絕緣體上硅能讓我們的65nm工藝晶圓變得更加緊湊,切割率能提升25%!”
“而且,這種工藝的芯片能降低3成功...
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