浸潤式光刻機的工作原理說起來也簡單，其實就是找原本的干式光刻機中間加一層水，然后利用光的折射，讓原本已經(jīng)達到極限的干式光刻機的工作精度，再提高十幾倍。
簡單的說，就是……好吧，見鬼的工作原理，我們不需要弄清楚他，我們只需要知道，現(xiàn)在世界上第1臺浸潤式光刻機正在工作。
雖然這只是一個半成品，但毫無疑問的，正在工作的它，在創(chuàng)造著歷史。
不過創(chuàng)造歷史的過程其實是相當(dāng)無聊...
浸潤式光刻機的工作原理說起來也簡單，其實就是找原本的干式光刻機中間加一層水，然后利用光的折射，讓原本已經(jīng)達到極限的干式光刻機的工作精度，再提高十幾倍。
簡單的說，就是……好吧，見鬼的工作原理，我們不需要弄清楚他，我們只需要知道，現(xiàn)在世界上第1臺浸潤式光刻機正在工作。
雖然這只是一個半成品，但毫無疑問的，正在工作的它，在創(chuàng)造著歷史。
不過創(chuàng)造歷史的過程其實是相當(dāng)無聊...