在半導體行業(yè)中，檢測儀器和制造設備同樣，至關重要。
沒有高精度的檢測設備，你就無法精確測量晶體結構的空間尺寸，也無法精確測量溝槽的漏電量到底有多少。
在這上面，德州儀器算是幫了華芯科技的大忙，這也為BSIM項目組提供了準確的數(shù)據(jù)來源。
FinFET技術在目前的制造工藝還看不出有多大的優(yōu)勢，因為制程的原因，現(xiàn)在的溝槽漏電量可以忽略不計。
但到了32納米制造工...
在半導體行業(yè)中，檢測儀器和制造設備同樣，至關重要。
沒有高精度的檢測設備，你就無法精確測量晶體結構的空間尺寸，也無法精確測量溝槽的漏電量到底有多少。
在這上面，德州儀器算是幫了華芯科技的大忙，這也為BSIM項目組提供了準確的數(shù)據(jù)來源。
FinFET技術在目前的制造工藝還看不出有多大的優(yōu)勢，因為制程的原因，現(xiàn)在的溝槽漏電量可以忽略不計。
但到了32納米制造工...