只見，光刻室里此時并沒有一名操作工。
需要流片的硅晶圓片，通過流水線進入一個半密封的洗滌室。洗滌室內(nèi)有許多自動噴頭，可以全方位的噴灑洗滌藥劑，清洗硅晶圓片的表面。
清洗干凈的硅晶圓通過烘干室，自動烘干，熱風吹拂除塵除異物，負壓吸取異物。完成這道工序，潔凈級別的硅晶圓通過運輸皮帶來到光刻室的主操作間。
這時候，四臺碼垛機器人把這些硅晶圓片取下來，放入托盤中臨時存放。...
只見，光刻室里此時并沒有一名操作工。
需要流片的硅晶圓片，通過流水線進入一個半密封的洗滌室。洗滌室內(nèi)有許多自動噴頭，可以全方位的噴灑洗滌藥劑，清洗硅晶圓片的表面。
清洗干凈的硅晶圓通過烘干室，自動烘干，熱風吹拂除塵除異物，負壓吸取異物。完成這道工序，潔凈級別的硅晶圓通過運輸皮帶來到光刻室的主操作間。
這時候，四臺碼垛機器人把這些硅晶圓片取下來，放入托盤中臨時存放。...