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大國(guó)智能制造

第七百二十三章 第一步 【求訂閱】

大國(guó)智能制造 烏溪小道 2106 2020-04-13 21:31:49

  “許董,按照目前的情況來(lái)看,我們集團(tuán)公司生產(chǎn)的激光光路系統(tǒng)應(yīng)該能跟老外的光刻機(jī)配套?!焙麈?zhèn)只有九層把握,并沒(méi)有把情況說(shuō)死。他還是有點(diǎn)擔(dān)心這套激光光路系統(tǒng)不能提供精準(zhǔn)的激光光源。

  光刻機(jī)的原理和照相機(jī)的原理基本一樣,都是用曝光來(lái)成像。但第三代光刻機(jī)的精度非常高,最低可達(dá)到0.018微米。倘若再使用FinFET制程技術(shù)和浸潤(rùn)式光刻制程技術(shù),精度要達(dá)到0.01微米以下。

  由此...

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